一、用途: |
MM405大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。 |
二、技术参数 |
1.目镜
类别 |
放大倍率 |
视场直径(mm) |
平场大视野目镜 |
WF10× |
ф25 |
十字刻度目镜 |
WF10× |
ф20 |
2. 物镜:
无限远平场物镜 |
数值孔径NA |
工作距离 |
PL5X BD |
0.12 |
29.4 |
PL10X BD |
0.25 |
16 |
PL20X BD |
0.40 |
10.6 |
PL40X BD |
0.6 |
5.4 |
3. 三目镜筒:
铰链式,倾斜30°,瞳孔距离50mm-75mm,100%通光摄影,50%通光摄影
4. 同轴粗微动调焦机构:
粗微调同轴调焦机构, 微动格值2μm
5. 双层机械机械工作台:
工作台尺寸:350mmX310mm,纵向移动: 250mm 横向移动:250mm
6. 照明光源:
落射照明:12v100w卤素灯 亮度可调 ,带视场光栏、孔径光栏、起偏振片及滤色片
透射照明:12v50w卤素灯 亮度可调
7. 偏光装置:
可插入式起偏振镜及检偏镜,检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可以移出光路。
8. 滤色片:
蓝、绿、磨砂 9.转换器:
五孔带DIC插孔 |
三、系统组成 |
电脑型金相显微镜(MM-405C): 1、金相显微镜 2、适配镜 3、摄像机(CCD) 4、图像采集软件 5、计算机(选配)
数码型金相显微镜(MM-405D): 1、金相显微镜 2、数码适配镜 3、数码照相机 |
四、可选附件 |
1.专业定量金相分析软件 MA3000
2.二维测量软件 WH300
3.试样压平器 YP05
4.高分辨率成像系统
5.明暗场物镜 50倍 80倍 100倍
6.DIC(10X 20X 40X 100X)
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